化学气相沉积

流化CVD技术进展
一、流态化CVD技术进展（论文文献综述）洪若瑜,李洪钟,李春忠,胡黎明[1]（1996）在《超细颗粒流态化CVD包覆研究进展及面临的重要课题》文中研究说明近年来,超细颗粒材料逐...